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電子潔凈廠房的設計要滿足哪些要求

更新時間:2020-11-24點擊次數:532
  
電子潔凈廠房的設計,以芯片生產車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程凈化車間除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度微震等要求更嚴格,去除靜電對生產產品的影響,從而使環(huán)境達到電子產品在潔凈環(huán)境的生產工藝要求。
電子無塵車間工程的溫、濕度應根據生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時,其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073,這類潔凈室的潔凈度等級1-9級,其中1-5級,氣流流型為單向流或混合流,風速;6級氣流流型為非單向流,換氣次數50-60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數15-25次/h;8-9級氣流流型為非單向流,換氣次數10-15次/h。

根據現行規(guī)范,電子制造廠萬級無塵車間工程內的噪聲級:不應大于65dB(A)
1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
2.電子制造廠無塵車間工程與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。
3.電子制造行業(yè)萬級無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的值。
4.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。
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