凈化車間主要之作用是控制產品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照慣例，無塵車間凈化主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，凈化車間無塵是必然的要求。

　　凈化車間空氣潔凈度檢測方法：

　　光散射顆粒計數法適用于對粒徑大于或等于0.5微米的塵埃顆粒進行計數。計算粒徑大于或等于5微米的灰塵顆粒。也可以使用薄膜顯微鏡計數法。光散射粒子計數法；

　　1、光散射粒子計數器的采樣量為100級：每次采樣量大于等于1升。級別1000-級別10000：每個取樣量大于或等于0.3升。級別100000：每個取樣量大于或等于0.1升。對于100級，應使用大型流量粒子計數器進行測試。如果條件不滿足，可以使用每次取樣量不小于1升的顆粒計數器。

　　2、測量點的布局

　　(1)測試應在清潔的工作區域進行。當生產過程沒有特殊要求時，取樣高度應離地面1米。

　　(2)層流測量點的總數不得少于20個，測量點之間的間距為0.5~2.0米，粒徑大于等于0.5微米的塵粒數不得超過一個點。水平層流測量點僅布置在一清潔工作區。

　　(3)可在5個測量點測量湍流，清潔面積小于或等于50平方米。每增加20-50平方米，增加3-5個測量點。

　　凈化車間空氣潔凈度檢測一般在清潔空調系統完成，清潔空調系統正常運行，且不需要工藝設備和生產人員的情況下在室內進行。選擇清潔工作區工作位置代表性測量點的氣流逆風方向。值得注意的是，在測試儀器穩定運行的情況下，每個測量點的數據排序應連續采樣三次，平均值應為該點的測量值。